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超纯水系统中各阶段常用管材

发布日期:2018-03-08 作者:超纯水系统 点击:

超纯水系统中各阶段常用管材

随着电子工业的发展,在芯片的生产加工过程中,对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,高纯水也是其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统总体来说一般可分为三个部分:超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。

其中超纯水制造区最为复杂,其又可分为:预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。预处理部分主要包括:沙滤、活性碳塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);一次纯水处理部分主要包括:阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;超纯水处理部分主要包括:MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。考虑到在向工艺设备输送高纯水过程中,输水管道会对水质再次造成污染,因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心,再加上超滤设备(UF),以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中,管网溶入水中的杂质。

超纯水系统

超纯水系统中各阶段常用管材

在超纯水系统中管材的选用也非常重要,既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管(SGPRL),对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管;在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管。高压泵与反渗透(RO)之间,由于压力高所以必须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0MPa级的法兰。

由于RO对水温有一定的要求,因而一般在RO之前有热交换器,其周边也应该采用SUS304管;在超纯水制造阶段,主流程一般应采用SUS316管和CPVC管;抛光循环区主流程一般采用SUS316管(焊接连接,并要求双面成型)和PVDF管,超纯水回收管道采用CPVC管。在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管;在纯水制造过程中酸碱等加药管线,应采用耐冲击PVC管;纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管,超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管;压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力,一般采用SUS304管或SGP管,当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。

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